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Richtlinien und Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung von Metall Sputtertargets

Richtlinien und Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung von Metallsputter-Targets

Zuerst Sputtern Vorbereitung

Es ist sehr wichtig, die Vakuumkammer, insbesondere das Sputtersystem sauber zu halten. Jegliche Rückstände, die durch Schmieröl und Staub und Vorbeschichten gebildet werden, sammeln Wasserdampf und andere Verunreinigungen, die direkt den Grad des Vakuums beeinflussen, um die Möglichkeit eines Filmversagens zu erhalten und zu erhöhen. Metallsputtertargets Kurzschluss- oder Zielstartbogen, Filmoberflächenrauhigkeit und chemische Verunreinigungen werden oft durch unsauberen Sputterraum, Sputterpistole und Target überschritten. Um die Zusammensetzung der Beschichtungseigenschaften beizubehalten, muss Sputtergas (Argon oder Sauerstoff) sauber und trocken sein, Sputtern Kammer in das Substrat nach der Notwendigkeit, die Luft zu extrahieren, um den erforderlichen Vakuumprozess zu erreichen. Dunkle Schilde, Hohlraumwände und angrenzende Oberflächen müssen ebenfalls sauber gehalten werden. Bei der Reinigung der Vakuumkammer empfehlen wir die Verwendung des Glaskugelstrahlverfahrens, um Schmutzpartien gleichzeitig mit Druckluft zu behandeln, um den Hohlraum um die Vorsputterrückstände herum zu entfernen, und dann mit Aluminiumoxid imprägniertes Schleifpapier vorsichtig auf der Oberfläche aufzutragen vom Polieren. Nach dem Polieren der Gaze, dann spülen Sie mit Alkohol, Metal Sputtering Targets Aceton und deionisiertem Wasser, und empfehlen die Verwendung von Industriestaubsauger für die Hilfsreinigung.

VORSICHT: Bei Verwendung des Targets saubere und ungeschützte Schutzhandschuhe und direkten Kontakt mit dem Ziel vermeiden

Zweitens, das Ziel sauber

Der Zweck der Zielreinigung ist das Entfernen von Staub oder Schmutz, der auf der Oberfläche des Ziels vorhanden sein kann.

Metallziele können in vier Schritten gereinigt werden,

Der erste Schritt in der Aceton in dem fusselfreien weichen Tuch getränkt sauber;

Der zweite Schritt ist ähnlich dem ersten Schritt mit Alkohol;

Der dritte Schritt ist das Waschen mit deionisiertem Wasser. Nach dem Waschen mit deionisiertem Wasser wurde das Target dann in einen Ofen gegeben und 30 Minuten lang bei 100ºC getrocknet.

Reinigung der Oxid- und Keramikscheibenreinigung mit einem "fusselfreien Tuch".

Schritt 4 Nach dem Entfernen des verschmutzten Bereichs spülen metallische Sputtertargets das Target mit Argon bei hohem Druck und niedriger Feuchtigkeit, um alle Verunreinigungen zu entfernen, die Lichtbögen im Sputtersystem verursachen können

Drittens, die Zielinstallation

Bei der Installation des Targets ist vor allem darauf zu achten, dass eine gute thermische Verbindung zwischen dem Target und der Kühlwand der Sputterpistole hergestellt wird. Wenn die Steifigkeit der Kühlwand stark ist oder die Krümmung der Rückplatte stark ist, treten Risse oder Biegungen auf, wenn das Ziel montiert wird, und die Wärmeleitfähigkeit des Rückziels zum Ziel wird stark beeinträchtigt, was zu Metallsputterzielen führt Hitze im Sputter-Prozess Die Verteilung führt schließlich zum Ziel-Cracking oder zum Ziel

Um eine ausreichende Wärmeleitfähigkeit sicherzustellen, kann eine Graphitschicht zwischen der Kathodenkühlwand und dem Target gepolstert sein. Achten Sie darauf, die Ebenheit der verwendeten Kühlwand der Sputterpistole sorgfältig zu überprüfen und zu klären, und stellen Sie sicher, dass der O-Ring immer in Position ist.

Aufgrund des Reinheitsgrades des verwendeten Kühlwassers und der möglichen Kontamination der Ausrüstung während des Betriebs der Ausrüstung ist es notwendig, den Kathoden - Kühlwassertank bei der Installation des Targets zu überprüfen und zu reinigen, um so den reibungslosen Ablauf des Kühlwassers zu gewährleisten Kühlwasser und der Einlass und der Auslass werden nicht blockiert.

Einige der Kathoden-Design ist kleiner mit der Anodenlücke, Metall-Sputtertargets so die Installation des Ziels muss sicherstellen, dass die Kathode und die Anode nicht in Kontakt mit dem Leiter kann nicht vorhanden sein, sonst wird es einen Kurzschluss erzeugen.

Informationen zur ordnungsgemäßen Installation des Ziels finden Sie in den Anweisungen des Geräteherstellers. Wenn Sie diese Informationen nicht im Benutzerhandbuch haben, versuchen Sie bitte, den Empfehlungen zu folgen. Wenn Sie die Zielvorrichtung festziehen, ziehen Sie zunächst eine Schraube von Hand an und ziehen Sie dann eine weitere Schraube an der diagonalen Metallsputtertarge von Hand fest, wiederholen Sie dies, bis Sie alle Schrauben montiert haben, und ziehen Sie dann das Werkzeug an